2025-02-04
拓荆科技取得一种液态源的蒸发罐结构和沉积设备专利, 加快液态化学源蒸发速度
金融界2025年2月1日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司取得一项名为“一种液态源的蒸发罐结构和沉积设备”的专利,授权公告号CN222411812U,申请日期为2023年12月。 专利摘要显示,本实用新型公开了一种液态源的蒸发罐结构和沉积设备。蒸发罐结构包括:蒸发罐,其内部存储液态化学源,所述蒸发罐包括双层罐壁,第二层壁设置于第一层壁的外侧,所述第二层壁为铝制层;加热元件,设置于所述蒸发罐的底部,用以加热所述液态化学源;以及超声发生器,用以提供超声波促进所述液态化学源的汽化...
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